Презентация была ориентирована на представителей российского рынка: ООО «Икар-Импульс», ОАО «НИИЭТ», ОАО «НИИМЭ и Микрон», ОАО «Концерн «Вега», ООО НТО «ИРЭ-Полюс», ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова» и др. Участники обсуждали решение технических вопросов в области утонения, травления и напыления.
DISCO Corporation продемонстрировала свою технологическую базу: чистые комнаты, оборудование для проведения тестовых технологических процессов, а также цех, где происходит восстановление и ремонт оборудования.
В «новой» чистой комнате площадью 450 м2 обрабатывается в среднем 10 000 пластин в месяц от 500 заказчиков. «Старая» чистая комната площадью 90 м2 используется для новых разработок.
Чистым помещением или чистой комнатой называется помещение, в котором концентрация взвешенных в воздухе частиц и, при необходимости, число микроорганизмов в воздухе поддерживаются в определённых пределах.
Компания DISCO Corporation – мировой лидер по поставке оборудования и технологических решений для процессов резки пластин на кристаллы, утонения, шлифовки и полировки пластин.
SPTS Technologies – ведущий поставщик оборудования и технологических решений для процессов травления и осаждения (в том числе и напыления) для микроэлектронной промышленности.